| 发明名称 | 一种新型的靶材冷却系统装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型一种新型的靶材冷却系统装置，它包括靶材（1），在靶材（1）下部设有与靶材（1）下表面对应配合的冷却管（2），在冷却管（2）内接入冷却水，其特征在于：在所述的冷却管（2）的下部连接一个与冷却管（2）下表面外形相同的二级冷却管（3），在二级冷却管（3）内也接入冷却水。本实用新型结构简单、使用方便、且适合在现有设备上进行改造，可以有效的克服现有技术中靶材冷却不均匀等问题。 | ||
| 申请公布号 | CN206033869U | 申请公布日期 | 2017.03.22 |
| 申请号 | CN201621123620.5 | 申请日期 | 2016.10.15 |
| 申请人 | 凯盛光伏材料有限公司 | 发明人 | 王策;刘小雨;王宝玉;蒋卓睿;吴以军 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人 | 杨晋弘 |
| 主权项 | 一种新型的靶材冷却系统装置，它包括靶材（1），在靶材（1）下部设有与靶材（1）下表面对应配合的冷却管（2），在冷却管（2）内接入冷却水，其特征在于：在所述的冷却管（2）的下部连接一个与冷却管（2）下表面外形相同的二级冷却管（3），在二级冷却管（3）内也接入二级冷却水。 | ||
| 地址 | 233010 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号 | ||