一种耐受振动和冲击的红外焦平面微桥结构

摘要

本发明公开了一种耐受振动和冲击的红外焦平面微桥结构，涉及非制冷红外焦平面技术领域，其包括L型桥腿和桥面，L型桥腿与桥面刻蚀连接，还包括外围固定框、位于L型桥腿拐角处的连接桥腿，所述L型桥腿经连接桥腿与外围固定框连接；外围固定框和短桥腿均由绝缘材料构成。本发明引入外围固定框极大地解决了传统微桥结构在经受外部振动和冲击激励时，微桥结构桥面整体形变最大、结构不稳定的问题。

主权项

一种耐受振动和冲击的红外焦平面微桥结构，包括L 型桥腿和桥面，L 型桥腿与桥面刻蚀连接，其特征在于，还包括外围固定框、位于L 型桥腿拐角处的连接桥腿，所述L 型桥腿经连接桥腿与外围固定框连接；外围固定框和短桥腿均由绝缘材料构成；所述桥面由复合热敏感膜层构成，桥面上中心位置设置有圆形应力过孔。