电磁阻抗感测元件及其制作方法

摘要

本发明公开一种电磁阻抗感测元件及其制作方法，其中电磁阻抗感测元件包括基材、第一图案化导电层、第二图案化导电层、磁性导线以及包覆层。基材具有一表面以及由此表面延伸进入基材的一沟槽。第一图案化导电层形成于此基材表面及沟槽的侧壁和底面上。磁性导线位于沟槽中。第二图案化导电层形成于第一图案化导电层上，横跨沟槽并与第一图案化导电层电性接触，用于将磁性导线夹设于第一图案化导电层与第二图案化导电层之间。包覆层包覆磁性导线，使磁性导线分别与第一图案化导电层和第二图案化导电层电性隔离。其中，第一图案化导电层与第二图案化导电层形成至少一个线圈电路围绕磁性导线。

主权项

一种电磁阻抗感测元件，包括:基材，具有一表面以及由该表面延伸进入该基材的一沟槽；第一图案化导电层，位于该基材的该表面以及该沟槽的一底面和一侧壁上；磁性导线(magneto‑conductive wire)，位于该沟槽之中；第二图案化导电层，形成于该第一图案化导电层上，并与该第一图案化导电层电性接触，且横跨该沟槽，将该磁性导线夹设于该第一图案化导电层与第二图案化导电层之间；以及包覆层，包覆该磁性导线，使该磁性导线分别与该第一图案化导电层和该第二图案化导电层电性隔离；其中该第一图案化导电层与该第二图案化导电层形成至少一线圈电路(coil of wire)围绕该磁性导线。