发明名称 |
基于黑硅的隧穿接触太阳能电池在线式制备设备 |
摘要 |
本发明涉及一种基于黑硅的隧穿接触太阳能电池在线式制备设备,包括进样室、黑硅制备腔室、介质膜制备腔室、掺杂膜制备腔室、透明电极制备腔室以及出样室,各室外设置真空泵组,各室内设置有滚轮组,镂空载板可在各室之间的滚轮组上往复移动;各输送料道上分别设置有真空阀;介质膜制备腔室和掺杂膜制备腔室结构相同,分别包括第一壳体,第一滚轮组的上下分别设置有阳极,楼板载板做阴极;透明电极制备腔室包括第二壳体,第二滚轮组的上下分别设设置有ITO靶材做阳极,楼板载板做阴极。可以一次性将硅片两面制备介质膜。同时,掺杂硅薄膜层也在一个腔体完成。 |
申请公布号 |
CN106531847A |
申请公布日期 |
2017.03.22 |
申请号 |
CN201611242128.4 |
申请日期 |
2016.12.29 |
申请人 |
常州大学 |
发明人 |
丁建宁;王书博;袁宁一 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种基于黑硅的隧穿接触太阳能电池在线式制备设备,其特征是,包括依次经输送料道连通的进样室(1)、黑硅制备腔室(2)、介质膜制备腔室(4)、掺杂膜制备腔室(6)、透明电极制备腔室(8)以及出样室(9),所述进样室(1)、黑硅制备腔室(2)、介质膜制备腔室(4)、掺杂膜制备腔室(6)、透明电极制备腔室(8)以及出样室(9)上分别设置有用于对其进行抽真空的真空泵组,所述进样室(1)、黑硅制备腔室(2)、介质膜制备腔室(4)、掺杂膜制备腔室(6)、透明电极制备腔室(8)以及出样室(9)上内分别设置有滚轮组,镂空载板(12)可在各室之间的滚轮组上往复移动;各输送料道上分别设置有真空阀;所述的介质膜制备腔室(4)和掺杂膜制备腔室(6)结构相同,分别包括第一壳体,第一壳体内的滚轮组为第一滚轮组,所述第一滚轮组的上下分别设置有阳极(41),所述阳极(41)上开设有小孔;楼板载板移动至第一壳体内时做阴极,镂空载板(12)上下两端分别距离阳极(41)的间距为3‑5cm;所述透明电极制备腔室(8)包括第二壳体,第二壳体内的滚轮组为第二滚轮组,第二滚轮组的上下分别设设置有ITO靶材(81)做阳极,所述ITO靶材(81)上开设有小孔;楼板载板移动至第二壳体内时做阴极,所述镂空载板(12)的上下分别距离ITO靶材(81)的间距10‑15cm。 |
地址 |
213164 江苏省常州市武进区滆湖路1号常州大学 |