窄预沉积激光去除

摘要

某些方面涉及在基本上透明基板上制造光学装置的方法，所述方法包括预沉积操作，所述预沉积操作在与所述基板的外边缘相距一定距离处移除下导体层的一定宽度，以便在所述外边缘处形成衬垫。可在边缘去除后操作中移除所述衬垫和所述光学装置的任何沉积层。

主权项

一种制造光学装置的方法，所述光学装置包括夹在第一导体层与第二导体层之间的一个或多个材料层，所述方法包括：(i)接收基板，所述基板在其工作表面上具有所述第一导体层；(ii)在沿着所述基板的周边的约50％与约90％之间的区域中移除所述第一导体层的第一宽度，而留下沿着所述周边与所述第一宽度共同延伸的所述第一导体层的衬垫；(iii)将所述光学装置的所述一个或多个材料层和所述第二导体层沉积在所述基板的所述工作表面之上；以及(iv)沿着所述基板的基本上整个所述周边移除所有所述层的第二宽度，其中所述移除的深度至少足以移除所述第一导体层，并且其中所述移除的第二宽度足以移除所述衬垫和所述第一导体层的沿着所述基板的所述周边的剩余10％至50％，其中所述第一传导层和所述第二传导层中的至少一个是透明的。