| 发明名称 | 一种用于链式刻蚀机的刻蚀减薄量监控装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于链式刻蚀机的刻蚀减薄量监控装置，包括至少1组用于检测刻蚀前硅片厚度的前激光探头组、至少1组用于检测刻蚀后硅片厚度的后激光探头组、控制系统和报警机构；所述前激光探头组或后激光探头组均包括上探头和下探头；所述前激光探头组和后激光探头组的输出信号传输至控制系统；所述报警机构由控制系统控制连接。本实用新型实现了实时自动监控蚀刻减薄量，当监控装置测定的刻蚀减薄量的数值超出标准范围之外时，控制系统控制报警机构进行报警，表明刻蚀工艺活设备出现了问题，实现了自动化监控和反馈，减少返工率、减少损失，降低了制造成本，具有积极的现实意义。 | ||
| 申请公布号 | CN206040597U | 申请公布日期 | 2017.03.22 |
| 申请号 | CN201621081621.8 | 申请日期 | 2016.09.27 |
| 申请人 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 | 发明人 | 周军;党继东;刘东续 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人 | 陆金星 |
| 主权项 | 一种用于链式刻蚀机的刻蚀减薄量监控装置，其特征在于：包括至少1组用于检测刻蚀前硅片(1)厚度的前激光探头组(2)、至少1组用于检测刻蚀后硅片(5)厚度的后激光探头组(4)、控制系统和报警机构；所述前激光探头组或后激光探头组均包括上探头和下探头；所述前激光探头组和后激光探头组的输出信号传输至控制系统；所述报警机构由控制系统控制连接。 | ||
| 地址 | 215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号 | ||