非接触式厚度测量仪

摘要

一种非接触式厚度测量仪，包括点光源(1)，用于固定被测物体的载物台(7)以及与载物台(7)相对设置的色散镜头(4)；还包括光纤传输结构(6)；光纤传输结构(6)包括第一光纤(64)，该第一光纤(64)通过光纤分路器(63)分别与第二光纤(62)和第三光纤(61)连接；第二光纤(62)的远离光纤分路器(63)的端部朝向点光源(1)设置；第一光纤(64)的远离光纤分路器(63)的端部与色散镜头(4)相对设置，并位于色散镜头(4)的光轴上；第三光纤(61)的远离光纤分路器(63)的端部与光谱分析仪(5)连接。本实用新型的厚度测量仪设计巧妙，实用性强。

主权项

一种厚度测量仪，包括点光源(1)，用于固定被测物体的载物台(7)，与载物台(7)相对设置、用于将点光源(1)所发出的复色光分解成不同波长的单色光并使该不同波长的单色光照射载物台(7)上的被测物体的色散镜头(4)，光谱分析仪(5)以及与光谱分析仪(5)电性连接、用于根据由光谱分析仪(5)所分析的光线波长计算得到被测物体厚度的处理器；其特征在于，还包括光纤传输结构(6)；光纤传输结构(6)包括第一光纤(64)，该第一光纤(64)通过光纤分路器(63)分别与第二光纤(62)和第三光纤(61)连接；第二光纤(62)的远离光纤分路器(63)的端部朝向点光源(1)设置；第一光纤(64)的远离光纤分路器(63)的端部与色散镜头(4)相对设置，并位于色散镜头(4)的光轴上；第三光纤(61)的远离光纤分路器(63)的端部与光谱分析仪(5)连接，从而使由被测物体表面所反射的光线经色散镜头(4)透射而进入第一光纤(64)的远离光纤分路器(63)的端部，再依次经光纤分路器(63)和第三光纤(61)而被光谱分析仪(5)接收，光谱分析仪(5)用于分析由被测物体表面所反射并进入第一光纤(64)的远离光纤分路器(63)的端部的光线的波长。