一种线圈支撑装置及等离子体加工设备

摘要

本发明涉及一种线圈支撑装置及等离子体加工设备，其用于支撑位于反应腔室的顶部上方的线圈，其包括屏蔽罩、线圈支架和升降驱动机构，其中，屏蔽罩固定在反应腔室的顶部，线圈及用于固定线圈的线圈支架位于屏蔽罩的内部；升降驱动机构固定在屏蔽罩的顶部上方，用以驱动线圈支架及与之固定连接的线圈相对于反应腔室作升降运动。本发明提供的线圈支撑装置，能够驱动线圈作升降运动而调节线圈相对于反应腔室的高度，从而不仅可以消除线圈可能存在的安装误差和加工误差，而且还可以灵活而准确地调节射频磁场在反应腔室内的分布，进而可以提高工艺的均匀性。

主权项

一种线圈支撑装置，用于支撑位于反应腔室的顶部上方的线圈，其特征在于，所述线圈支撑装置包括屏蔽罩、线圈支架和升降驱动机构，其中所述屏蔽罩固定在反应腔室的顶部，所述线圈及用于固定所述线圈的线圈支架位于所述屏蔽罩的内部；所述升降驱动机构位于所述屏蔽罩的顶部上方，并与所述线圈支架连接，用以驱动所述线圈支架及与之连接的所述线圈在屏蔽罩内相对于所述反应腔室作升降运动；所述线圈支架包括水平固定板和竖直导向板，其中：所述水平固定板与所述升降驱动机构连接，以驱动所述线圈支架做升降运动；所述竖直导向板的顶端固定在所述水平固定板的下表面上；所述线圈为多层，且沿竖直方向间隔设置；并且所述线圈支撑装置包括间距调节机构，所述间距调节机构包括驱动单元和可沿竖直方向伸缩的伸缩机构，其中，所述伸缩机构，包括多个伸缩单元，各所述伸缩单元分别与各层线圈连接；所述驱动单元与所述伸缩机构连接，用以驱动所述伸缩机构沿竖直方向伸缩，带动各层线圈彼此靠近或远离；在所述竖直导向板上间隔设定距离设置有第一竖直导轨，所述第一竖直导轨的数量与所述线圈的层数相对应；所述伸缩单元包括剪叉连杆、滑动部件、水平滑动轴和端部连杆，其中，所述滑动部件和水平滑动轴各自的数量与所述线圈的层数相对应；所述水平滑动轴的一端与对应的第一竖直导轨配合，在所述伸缩单元沿竖直方向伸缩时，沿所述第一竖直导轨滑动；所述水平滑动轴上设置有导向槽，所述滑动部件沿所述导向槽在水平滑动轴上水平移动；所述水平滑动轴上设置有用于固定各层线圈的线圈固定架；所述剪叉连杆分别位于各个相邻的两层线圈之间，且每个所述剪叉连杆由两个交叉设置且彼此铰接的连杆组成，并且，在所述两个连杆中，其中一个连杆的两个自由端分别与位于该连杆上方且相邻的水平滑动轴上的滑动部件，以及位于该连杆下方且相邻的所述水平滑动轴的一个自由端铰接；另一个连杆的两个自由端分别与位于该连杆上方且相邻的所述水平滑动轴的一个自由端，以及位于该连杆下方且相邻的水平滑动轴上的滑动部件铰接；所述端部连杆包括顶端连杆和底端连杆，其中，所述顶端连杆和底端连杆分别由两个长度相同，且在一端彼此铰接的连杆组成，并且，在所述顶端连杆中，其由两个连杆铰接的端部与所述驱动单元球铰接，其中一个连杆的自由端与位于最上层的水平滑动轴上的滑动部件铰接；另一个连杆的自由端与位于最上层的水平滑动轴的自由端铰接；在所述底端连杆中，其由两个连杆铰接的端部固定；其中一个连杆的自由端与位于最下层的所述水平滑动轴上的滑动部件铰接；另一个连杆的自由端与位于最下层的所述水平滑动轴的自由端铰接；当所述驱动单元驱动所述顶端连杆的两个连杆铰接的端部作竖直运动时，所述底端连杆的两个连杆铰接的端部固定不动，且所述剪叉连杆之间的夹角减小或增大，从而所述剪叉连杆在驱动所述水平滑动轴沿所述第一竖直导轨竖直滑动的同时，驱动所述滑动部件沿所述导向槽在水平滑动轴上水平移动，以带动所述水平滑动轴水平移动。