发明名称 | 基板移送装置 | ||
摘要 | 本发明涉及基板移送装置,尤其,涉及使平板形状的基板能够以维持规定间隔的方式进行移动的基板移送装置。本发明的基板移送装置的特征在于,包括:匣盒,插入配置有多个基板;以及第二移送部件,用于向一方向移送插入配置于上述匣盒的基板,上述第二移送部件包括:第二传送带,呈履带形状,用于向一方向移送放置于上部面的上述基板;多个卡止突起,在上述第二传送带的上部面以相互隔开的方式突出而成;以及第二驱动部,用于使上述第二传送带旋转,从上述匣盒向上述第二传送带供给的上述基板与上述卡止突起相接触,从而阻止上述基板对上述第二传送带进行相对移动。 | ||
申请公布号 | CN106537575A | 申请公布日期 | 2017.03.22 |
申请号 | CN201580016379.8 | 申请日期 | 2015.08.07 |
申请人 | 韩国凯姆爱奇高科技股份有限公司 | 发明人 | 梁昶实;金太龙;朴钟仁;权奇清 |
分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
代理机构 | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人 | 袁燕清;童海霓 |
主权项 | 一种基板移送装置,其特征在于,包括:匣盒,插入配置有多个基板;以及第二移送部件,用于向一方向移送插入配置于上述匣盒的基板,上述第二移送部件包括:第二传送带,呈履带形状,用于向一方向移送放置于上部面的上述基板;多个卡止突起,在上述第二传送带的上部面以相互隔开的方式突出而成;以及第二驱动部,用于使上述第二传送带旋转,从上述匣盒向上述第二传送带供给的上述基板与上述卡止突起相接触,从而阻止上述基板对上述第二传送带进行相对移动。 | ||
地址 | 韩国忠清南道牙山市阴峰面燕岩栗金路330 |