| 发明名称 | 一种光刻胶显影液 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种光刻胶显影液，包括水、非离子表面活性剂和无机碱，非离子表面活性剂包括蓖麻油聚氧乙烯醚、式I结构通式所示的化合物，<img file="DDA0001219399580000011.GIF" wi="1006" he="502" />本发明的显影液具有优良的工艺余度，能够仅仅通过调整曝光量及膜厚来用于多种光刻胶的处理，显影时效长、显影的适用范围宽。 | ||
| 申请公布号 | CN106527065A | 申请公布日期 | 2017.03.22 |
| 申请号 | CN201710062714.9 | 申请日期 | 2017.01.25 |
| 申请人 | 绵阳艾萨斯电子材料有限公司 | 发明人 | 罗利 |
| 分类号 | G03F7/32(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人 | 陈蒋玲 |
| 主权项 | 一种光刻胶显影液，其特征在于，包括水、非离子表面活性剂和无机碱，非离子表面活性剂包括蓖麻油聚氧乙烯醚、式I结构通式所示的化合物，<img file="FDA0001219399560000011.GIF" wi="1038" he="527" /> | ||
| 地址 | 621000 四川省绵阳市经开区三江大道327号 | ||