一种薄膜渗透率测量装置和测量方法

摘要

本发明属于薄膜渗透率测量技术领域，并公开了一种薄膜渗透率测量装置，包括机械泵、第一真空阀、第二真空阀、气源、球阀、待测气体室、第一真空计、放样处、积累室、第二真空计、第一气动挡板阀、分子泵、第二气动挡板阀、测量室、针阀和四级杆质谱仪。本发明采用了四级杆质谱仪，四级杆质谱仪分压的灵敏度非常高，可以测得微小的分压变化，从而提高测量精度，有利于提高柔性封装领域的渗透性测量的精确性。本发明由压块压紧样品，安装简便，而且可以多次测量不破坏样品，测量过程简便，而且本发明的测试装置体积较小，结构紧凑，使用方便，另外，本发明适用薄膜的种类多，而且可以针对多种待测气体进行测量。

主权项

一种薄膜渗透率测量装置，其特征在于，包括机械泵(1)、第一真空阀(2)、第二真空阀(3)、气源(4)、球阀(5)、待测气体室(6)、第一真空计(7)、放样处(8)、积累室(9)、第二真空计(10)、第一气动挡板阀(11)、分子泵(12)、第二气动挡板阀(13)、测量室(14)、针阀(15)和四级杆质谱仪(16)，其中，所述机械泵(1)分别连接所述第一真空阀(2)和所述第二真空阀(3)，所述第一真空阀(2)和第二真空阀(3)分别连接所述待测气体室(6)和所述积累室(9)；所述气源(4)通过球阀(5)与所述待测气体室(6)连接，所述待测气体室(6)还连接所述第一真空计(7)；所述待测气体室(6)连接所述积累室(9)并且两者间形成所述放样处(8)，以用于放置薄膜；所述积累室(9)与所述第二真空计(10)连接；所述积累室(9)通过第一气动挡板阀(11)与所述测试室(14)连接；所述测试室(14)上分别连接所述第二气动挡板阀(13)和所述针阀(15)，所述第二气动挡板阀(13)与所述分子泵(12)连接，所述针阀(15)与所述四级杆质谱仪(16)连接；所述积累室(9)与测试室(14)上分别设置加热器。