| 主权项 |
一种具有择优取向的高纯钽靶材的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：(1)将钽锭在锻锤下开坯；(2)对开坯后的钽锭酸洗；酸洗溶液配方采用盐酸与氢氟酸的混合溶液，盐酸的浓度为27wt％到40wt％,氢氟酸的浓度为30wt％到50wt％，常温下在酸洗溶液中浸泡10min到20min；(3)酸洗后的钽锭放在真空退火炉中退火处理；真空度控制在10<sup>‑2</sup>‑10<sup>‑4</sup>Pa，最高温度控制在900℃到1300℃，最高温度保温时间控制在120min到240min；(4)对退火处理过的钽材进行第一次轧制；轧制时压下量控制在10％到15％；(5)第二次轧制，第二次轧制方向与第一次轧制方向垂直；轧制时压下量控制在10％到15％；(6)酸洗同步骤(2)；(7)真空热处理炉中真空退火处理；真空度控制在10<sup>‑2</sup>‑10<sup>‑4</sup>Pa，退火温度控制在700℃到1000℃，保温时间控制在120min到240min；(8)第三次轧制，第三次轧制方向与第一次轧制方向相同；轧制时压下量控制在20％到25％；(9)第四次轧制，第四次轧制方向与第三次轧制方向相同；轧制时压下量控制在20％到25％；(10)酸洗；酸洗液配方为盐酸与氢氟酸的混合溶液，盐酸的浓度为17wt％到30wt％,氢氟酸的浓度为10wt％到30wt％，常温下在酸洗溶液中浸泡5min到10min；(11)真空热处理炉中退火处理；真空度控制在10<sup>‑2</sup>‑10<sup>‑4</sup>Pa，退火温度700℃到900℃，保温时间100min到150min。 |
