| 发明名称 | 一种改良的氧化铟透明导电薄膜退火方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种改良的氧化铟透明导电薄膜退火方法，包括在气体氛围下对氧化铟透明导电薄膜进行退火处理，所述的气体氛围选自高纯氢气、水蒸气、氮气氢气混合气、一氧化碳、水蒸气空气混合气中的一种或多种。在使用本方法进行退火处理后，氧化铟透明导电薄膜的电阻率得到较大降低，且其在300~1200nm波段的透射率得到明显提高。 | ||
| 申请公布号 | CN106521415A | 申请公布日期 | 2017.03.22 |
| 申请号 | CN201610968518.3 | 申请日期 | 2016.10.27 |
| 申请人 | 中山大学;顺德中山大学太阳能研究院 | 发明人 | 沈辉;姚志荣;李圣浩;王学孟 |
| 分类号 | C23C14/08(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;C23C16/56(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人 | 李海波 |
| 主权项 | 一种改良的氧化铟透明导电薄膜退火方法，其特征在于：在气体氛围下对氧化铟透明导电薄膜进行退火处理，所述的气体氛围选自高纯氢气、水蒸气、氮气氢气混合气、一氧化碳、水蒸气空气混合气中的一种或多种。 | ||
| 地址 | 510275 广东省广州市新港西路135号 | ||