| 摘要 |
本発明は、第二導電型のドーパントを含む第二拡散剤及び第一導電型のドーパントを含む第一拡散剤を準備する工程と、第一拡散剤を第一導電型の半導体基板の第二の主面に塗布する工程と、第二拡散剤を第一の主面に部分的に塗布する工程と、第一拡散剤及び第二拡散剤が塗布された半導体基板を熱処理することによって、高濃度第二拡散層、低濃度第二拡散層、及び第一拡散層を形成する工程と、拡散層が形成された半導体基板に熱酸化膜を形成する工程を有する太陽電池の製造方法である。これにより、製造工程を簡略化しつつ、オートドープの問題を解消でき、電気特性の優れた太陽電池を製造することができる太陽電池の製造方法が提供される。 |
