| 摘要 |
圧電センサ（１０）は、ガラス板（１２）、ＳＵＳ板（１５）、センサ部（１６）、押し子（１７）およびクッション（２１）を備える。ガラス板（１２）は押し込みを受け付ける。ＳＵＳ板（１５）は、ガラス板（１２）と平行になるように配置され、押し込みにより歪む。センサ部（１６）は、圧電フィルムを有し、ＳＵＳ板（１５）の主面に貼付される。押し子（１７）は、ガラス板（１２）とＳＵＳ板（１５）との間に配置され、ガラス板（１２）からＳＵＳ板（１５）にひずみを伝達する。クッション（２１）は、ＳＵＳ板（１５）に対してガラス板（１２）側と反対側に配置され、ＳＵＳ板（１５）を支持する。ＳＵＳ板（１５）の主面に垂直な方向から見て、クッション（２１）は、押し子（１７）の少なくとも一部と重なり、センサ部（１６）の全体には重ならない。 |
