圧電薄膜及びその製造方法、並びに圧電素子

摘要

スカンジウム以外の安価な元素を含有し、かつ圧電定数が高められた窒化アルミニウムからなる圧電薄膜を提供する。マグネシウム及びニオブを含有する窒化アルミニウムからなる、圧電薄膜であって、上記マグネシウム１００原子％に対して、上記ニオブを３１〜１２０原子％含有しており、上記マグネシウム、ニオブ及びアルミニウムの含有量の総和に対する上記マグネシウム及びニオブの合計含有量が、１０〜６７原子％の範囲にある、圧電薄膜。