| 摘要 |
【課題】変位を増幅させることで微小な変位であっても精度よく測定することが可能な変位測定装置を提供する。【解決手段】光軸Ｓの直交方向の変位を測定する変位測定装置１である。そして、レーザー光の照射部２１と、レーザー光を２回反射させることで、入射光路Ｓ１とは光軸の直交方向の位置が異なり、かつ入射光路と略平行な出射光路Ｓ３を生成する直角反射ミラー部３と、測定対象に取り付けられた直角反射ミラー部で反射された出射光路の受光位置の検出が可能なＰＳＤ素子部２２とを備えている。このＰＳＤ素子部によって検出された受光位置から入射光路と出射光路との距離Ｌ１，Ｌ３が算出される。【選択図】図１ |
