| 摘要 |
【課題】電荷蓄積領域からフローティングディフュージョンまでの信号電荷の転送特性を向上させることができる固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法を提供すること。【解決手段】実施形態に係る固体撮像装置は、電荷蓄積領域と、フローティングディフュージョンと、柱状のトレンチゲートとを備える。電荷蓄積領域は、半導体層に設けられ、入射した光により光電変換された信号電荷を蓄積する。フローティングディフュージョンは、半導体層の表層に設けられる。柱状のトレンチゲートは、フローティングディフュージョンに隣設され、半導体層の表面から電荷蓄積領域まで達し、フローティングディフュージョンに面する側面の幅および側面と対向する側面の幅が、他の側面の幅よりも大きい。【選択図】図３ |
