マイクロメカニカル時計部品を製造するための方法、及び上記マイクロメカニカル時計部品

摘要

【課題】シリコン系マイクロメカニカル時計部品を潤滑するための方法を提供する。【解決手段】マイクロメカニカル時計部品を製造するための方法は、以下のステップをこの順で含む：ａ）上記シリコン系基板１を準備するステップ；ｂ）上記シリコン系基板１の表面の少なくとも一部の表面上に、深さ少なくとも１０μｍ、好ましくは少なくとも５０μｍ、より好ましくは少なくとも１００μｍの細孔２を形成するステップであって、細孔２は、マイクロメカニカル時計部品の外側表面において外向きに開口するよう設計されている、ステップ。【選択図】図２