| 摘要 |
サイドエッチングの問題を解消しつつ、パターン付ロール製造時の感光材剥離処理における感光材の剥離性及びパターン付ロールを用いて転写した際の転写物の剥離性に優れたパターン付ロール及びその製造方法を提供する。表面が導電性ＤＬＣ層とされた基材の該表面に感光材を塗布し、露光・現像せしめてレジストパターンを形成し、該導電性ＤＬＣ層及びレジストパターンの表面にＤＬＣ被覆膜を形成し、該レジストパターン上に形成されたＤＬＣ被覆膜を該レジストパターンごと剥離せしめ、導電性ＤＬＣ層の表面にＤＬＣパターンを形成してなるようにした。 |
