发明名称 Betreiben eines konfokalen Weißlichtsensors an einem Koordinatenmessgerät
摘要 Die Erfindung betrifft Verfahren zum Betreiben eines konfokalen Weißlichtsensors (215) an einem Koordinatenmessgerät (211), welches einen Sensorträger (110) zum Ankoppeln eines Koordinaten-Messsensors aufweist, der in einer geradlinigen Bewegungsrichtung relativ zu einer Basis des Koordinatenmessgeräts (211) beweglich ist, wobei a) der konfokale Weißlichtsensor (215) an den Sensorträger (110) angekoppelt wird, b) der konfokale Weißlichtsensor (215) in der geradlinigen Bewegungsrichtung auf einen Referenzkörper (231) ausgerichtet wird, wobei eine Position des Referenzkörpers (231) in Bezug auf die geradlinige Bewegungsrichtung bekannt ist oder ermittelt wird, c) der Sensorträger (110) mit dem daran angekoppelten konfokalen Weißlichtsensor (215) und der Referenzkörper (231) relativ zueinander in der geradlinigen Bewegungsrichtung bewegt werden und an verschiedenen Bewegungspositionen jeweils von dem konfokalen Weißlichtsensor (215) ein Messsignal eines Abstandes des konfokalen Weißlichtsensors (215) zu dem Referenzkörper (231) erzeugt wird und jeweils von einem Positionsmesssystem (206) des Koordinatenmessgeräts (211) die Bewegungsposition bezüglich der geradlinigen Bewegungsrichtung ermittelt wird, d) aus den erzeugten Messsignalen des Abstandes des konfokalen Weißlichtsensors (215) zu dem Referenzkörper (231) und aus den ermittelten Bewegungspositionen Informationen über einen Zusammenhang zwischen Messsignalen des konfokalen Weißlichtsensors (215) und einem tatsächlichen Abstand des Weißlichtsensors zu einem Messobjekt gewonnen werden, e) von dem an dem Sensorträger (110) angekoppelten konfokalen Weißlichtsensor (215) zumindest ein Messsignal eines Objekt-Abstandes zu einem von dem Koordinatenmessgerät (211) zu vermessenden Messobjekt (235) erzeugt wird, wobei das zu vermessende Messobjekt (235) nicht der Referenzkörper (231) ist, f) aus dem zumindest einen Messsignal des Objekt-Abstandes und unter Verwendung der gewonnenen Informationen über den Zusammenhang ein Messwert des Objekt-Abstandes erzeugt wird.
申请公布号 DE102015217637(A1) 申请公布日期 2017.03.16
申请号 DE201510217637 申请日期 2015.09.15
申请人 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH 发明人 Kern, Rudolf;Burger, Jochen;Brenner, Kurt
分类号 G01B11/24;G01B11/03;G01B21/04 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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