| 摘要 |
【課題】煩雑な作業を行うことなく、摺動面間に存在する透明膜の膜厚を計測することができるようにする。【解決手段】透明摺動材４２と反射摺動材４８とは、荷重を受けながら相対運動し、液体膜４６は、透明摺動材４２と反射摺動材４８との間に存在し、透明摺動材４２及び液体膜４６は、光を透過する材質から構成され、反射摺動材４８は、光を反射する材質から構成される。白色光源２２からの光を、バンドパスフィルタを用いて３波長の単色光から構成される光にし、透明摺動材４２と液体膜４６とを透過させて反射摺動材４８へ照射して光干渉を生じさせ、カメラ３２は、生じた光干渉における、波長が異なる２以上の光の各々の輝度を計測する。演算装置６０は、カメラ３２によって計測された２以上の光の各々の輝度に基づいて、液体膜４６の膜厚を計算する。【選択図】図７ |
