| 摘要 |
【課題】ホール径の異なる複数のパターンを容易に形成することができるパターン形成方法を提供する。【解決手段】パターン形成方法は、被加工膜上の第１領域Ｒ１に自己組織化材料が相分離可能な幅を有する第１開口幅の第１ホールパターン１０５ａを含み、かつ、該被加工膜上の第２領域Ｒ２に前記第１開口幅よりも幅が広い第２開口幅の第２ホールパターン１０５ｂおよび第１開口幅よりも幅が小さい幅の第３ホールパターン１０５ｃを含むマスク材を形成する。次に、マスク材上に自己組織化材料を供給する。次に、３パターン内の自己組織化材料を相分離させずに、第１および第２ホールパターン内の自己組織化材料を第１ポリマー部１０７ａ、１０７ｂと第２ポリマー部１０８ａ、１０８ｂとに相分離させる。第１ポリマー部を残存させつつ第２ポリマー部を除去してホールパターンを形成する。マスク材および第１ポリマー部をマスクとして用いて被加工膜を加工する。【選択図】図５ |
