摘要 |
【課題】 データの信頼性を向上できる半導体記憶装置を提供する。【解決手段】 半導体記憶装置10は、電荷蓄積層を有するメモリセルと、メモリセルのゲートに接続されたワード線と、ワード線に書き込み電圧を印加する書き込み動作と、書き込み動作後にメモリセルの閾値電圧を確認するベリファイ動作とを行うコントローラ20とを含む。第1電圧を用いた第1ベリファイ動作と、第1電圧より高い第2電圧を用いた第2ベリファイ動作とが行われる。第1ベリファイ動作がフェイルであり、かつ第2ベリファイ動作がパスである場合、書き込み動作が継続される。【選択図】 図12 |