| 摘要 |
【課題】従来技術よりコンデンサレンズの収差を小さくしてより小さなビーム径を実現でき、かつ集束イオンビームの安定性を向上させることができる集束イオンビーム装置を提供することを目的とする。【解決手段】集束イオンビーム装置は、イオンビームを放出するイオン源と、イオン源のエミッタの先端からイオンを引き出す引出電極と、引出電極との電位差によって、引出電極によって引き出されたイオンを集束させるコンデンサレンズを構成する第１レンズ電極と、を備え、引出電極と第１レンズ電極との間に強いレンズ作用を発生させて、イオン源から放出させたイオンの全てを集束させることにより、第一電極を含むコンデンサレンズを通過させる。【選択図】図３ |
