| 摘要 |
【課題】イオン源のクリーニング時間を短縮する。【解決手段】イオン源１０は、チャンバ本体１３、フロントスリット部１５、及びそれらの間に介在する絶縁部１６を有するイオン源チャンバ１１と、チャンバ本体１３に対しフロントスリット部１５に電圧を印加するフロントスリット電源１７と、イオン源制御部１８と、を備える。イオン源制御部１８は、プラズマ生成空間１２におけるイオンの運動エネルギーとイオンによるフロントスリット堆積物のスパッタ率との関係を表すスパッタ率情報を記憶するスパッタ率記憶部と、フロントスリット部１５のクリーニングのためにチャンバ本体１３に対しフロントスリット部１５に印加すべき設定電圧Ｖｓをスパッタ率情報に基づいて決定する最適電圧決定部と、設定電圧Ｖｓに従ってフロントスリット電源１７を制御する電源制御部と、を備える。【選択図】図１ |
