剥離装置および剥離方法

摘要

【課題】優れた剥離性能を得ることが可能な剥離装置を提供する。【解決手段】剥離装置は、互いに剥離可能に積層された第１基材および第２基材を搬送させる第１搬送手段と、第２基材から剥離された第１基材の搬送方向における上流側に配置されると共に、第１基材が剥離された第２基材を搬送させる第２搬送手段と、搬送方向における下流側に配置されると共に、第２基材から剥離された第１基材を搬送方向が途中で変化するように搬送させる第３搬送手段とを備える。【選択図】図６