| 摘要 |
【課題】ＣＢＮ砥石を用いて被研削物を研削する際、ＣＢＮ砥石の動作を好適に制御して研削焼けを防止すると共に作業効率を向上させた研削を行う。【解決手段】立方晶窒化ホウ素の砥粒を含む砥石３を周速度Ｖ（ｍ／ｍｉｎ）で回転させるステップと、前記砥石３を被研削物２の表面に対して接触面圧Ｐ（ｋｇｆ／ｃｍ２）で押圧するステップと、前記押圧の方向に直交する前記被研削物２の面上を、送り速度Ｕ（ｍ／ｍｉｎ）で前記被研削物２と前記砥石３とを相対移動させるステップと、を含み、前記接触面圧Ｐ（ｋｇｆ／ｃｍ２）、前記周速度Ｖ（ｍ／ｍｉｎ）及び前記送り速度Ｕ（ｍ／ｍｉｎ）を、下記（１）〜（４）式を満足させて前記表面を研削する。Ｐ≦９．０ｋｇｆ／ｃｍ２…（１）Ｖ≦１．０×１０３ｍ／ｍｉｎ…（２）Ｐ・Ｖ≦５．６×１０３［ｋｇｆ／ｃｍ２］・［ｍ／ｍｉｎ］…（３）Ｕ≦１．０ｍ／ｍｉｎ…（４）【選択図】図１ |
