静電チャック

摘要

一態様に係る静電チャックは、対象物を吸着するための静電チャックであって、底面および該底面から突出した突起表面部を含む第１表面を有する基体を備え、該突起表面部は、第１頂面と、前記第１頂面と前記底面との間に配置された段差面とを有する。