发明名称 ダイシングシート用基材フィルムおよび基材フィルムの製造方法
摘要 ダイシング工程での切削片発生を抑制し、エキスパンド性・復元性に優れる基材フィルムを提供する。基材フィルム(2)は、切削片抑制層(A)上に積層され、複数の樹脂系層状体の積層構造を有するエキスパンド層(B)を備え、切削片抑制層(A)に最も近位に配置される樹脂系層状体(B1)の10%延伸5分後の応力緩和率(R1)と、切削片抑制層(A)に最も近位に配置される樹脂系層状体(B1)以外の樹脂系層状体(B2)の0%延伸5分後の応力緩和率(R2)とが、下記式(i)から(iii)で表される条件を満たし、切削片抑制層(A)は、芳香族系環および脂肪族系環の少なくとも1種を有する熱可塑性樹脂である環含有樹脂(a1)と、環含有樹脂(a1)以外のオレフィン系熱可塑性樹脂である非環式オレフィン系樹脂(a2)とを含有する。R1≦30% (i)R2≧20% (ii)R1<R2 (iii)
申请公布号 JPWO2015076127(A1) 申请公布日期 2017.03.16
申请号 JP20150549074 申请日期 2014.11.07
申请人 リンテック株式会社 发明人 中村 潤一;宮崎 健太郎;田矢 直紀
分类号 H01L21/301;C09J7/02;C09J201/00 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
地址