发明名称 Asymmetrische Halbleitervorrichtung und Verfahren zum Bilden davon
摘要 Ein Aspekt der Erfindung stellt eine asymmetrische Halbleitervorrichtung bereit. Die asymmetrische Halbleitervorrichtung kann umfassen: ein Substrat; und einen fin-artigen Feldeffekttransistor (FINFET), der am Substrat angeordnet ist, wobei der FINFET umfasst: eine Menge von Stege, die an einem Gate angeordnet sind; ein erstes epitaktisches Gebiet, das an einem Sourcebereich an der Menge von Stege angeordnet ist, wobei das erste epitaktische Gebiet eine erste Höhe aufweist; und ein zweites epitaktisches Gebiet, das an einem Drainbereich an der Menge von Stege angeordnet ist, wobei das zweite epitaktische Gebiet eine zweite Höhe aufweist, wobei sich die erste Höhe von der zweiten Höhe unterscheidet.
申请公布号 DE102016215885(A1) 申请公布日期 2017.03.16
申请号 DE201610215885 申请日期 2016.08.24
申请人 GLOBALFOUNDRIES INC. 发明人 Chou, Anthony I.;Holt, Judson R.;Kumar, Arvind;Utomo, Henry K.
分类号 H01L29/78;H01L21/283;H01L21/336;H01L29/417 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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