マイクロ波プラズマＣＶＤ装置、それを用いたダイヤモンドの合成方法及び合成されたダイヤモンド

摘要

【課題】プラズマのガス温度が低い条件下で、大きい合成速度でダイヤモンドを合成できるマイクロ波プラズマＣＶＤによるダイヤモンドの製造方法及び製造装置を提供する。【解決手段】製造装置は、キャビティ１１２と、基板ホルダ１１６と、炭素源及び水素の混合ガスを供給するガス供給装置と、マイクロ波パルスを供給してプラズマを発生させ、基板上にダイヤモンドを成長させるマイクロ波供給部１０２と、マイクロ波パルスのオン時間Ｔｏｎ及びオフ時間Ｔｏｆｆを設定する制御部１２４とを含み、Ｔｏｎ及びＴｏｆｆは、マイクロ波パルスを供給するときの発光強度が、連続のマイクロ波を供給するときの発光強度よりも大きくなるように設定される。これにより、プラズマのガス温度が低い条件下でも、大きい合成速度で単結晶ダイヤモンドを合成できる。【選択図】図１