| 摘要 |
【課題】本発明の目的は、一方の電極として使用するダイヤフラムと、ダイヤフラムからの信号を検出するための信号線との接続について、ダイヤフラムの作動特性に影響を与えず、安定した導通を確保できる、静電容量検出式の圧力スイッチ及び圧力センサを提供することである。【解決手段】本発明の静電容量検出式圧力スイッチ９００は、管路１１から供給される作動媒体の圧力に応じて変位する金属製のダイヤフラム８００と、ダイヤフラム８００に電気的に接続される可動電極９２１と、ダイヤフラム８００の管路１１に対向する大気圧側に設けられる固定電極１２３と、固定電極１２３とダイヤフラム８００との絶縁を確保する絶縁被膜１２４とを備え、ダイヤフラム８００の外周の一部に外側に向って伸びる少なくとも１つの突起部である、可動電極９２１を接続するための電極接触部８０１が形成されることを特徴とする。【選択図】図９ |
