摘要 |
インプリント時の転写性及び構造体に転写されたパターンの耐溶剤性の両方に優れる、インプリント用光硬化性樹脂組成物を提供する。本発明によれば、光重合性の(メタ)アクリル系モノマー(A)および光開始剤(B)を少なくとも含むインプリント用光硬化性樹脂組成物であって、前記(メタ)アクリル系モノマー(A)の配合比率が、(a−1)3官能(メタ)アクリレート化合物 60〜97質量%(a−2)4官能以上の(メタ)アクリレート化合物 3〜40質量%(a−3)2官能以下の(メタ)アクリレート化合物 0〜37質量%(ただし、(a−1)〜(a−3)の合計が100質量%とする)である、インプリント用光硬化性樹脂組成物が提供される。 |