| 摘要 |
【課題】処理空間でガラス板を搬送しつつその下面にエッチング処理を施す際に、ガラス板の上面についても外周部と部とで均一なエッチング処理が施されるようにし、エッチング処理後のガラス板の高品質化を図る。【解決手段】給気口２０及び排気口２４を有する下部構成体１０の上面と、上部構成体９の下面とを対向させて配置し、対向する両面の相互間に形成される処理空間１２で、給気口２０から吹き出されて排気口２４に吸い込まれる処理ガス５によって、水平方向に搬送されるガラス板３の下面３ａにエッチング処理を施すに際して、処理空間１２は、給気口２０が位置する領域の高さが、排気口２４が位置する領域の高さよりも高くされる。【選択図】図２ |
