| 摘要 |
【課題】モールド及び当該モールドに接触される被成形材料を配置する基材に帯電した静電気を軟Ｘ線によって効果的に除電する。【解決手段】本実施の形態に係るインプリント装置は、基材４０を保持する基材保持部１２Ｂを有するステージユニット１２と、基材４０上に配置される被成形材料に接触されるモールド５０を保持するモールド保持部１７と、平面視において、転写位置とは重ならないよう、配置され、基材４０とモールド５０とが鉛直方向に向き合う状態で基材４０とモールド５０との間に間隙Ｓが形成された際に、当該間隙Ｓに、水平方向に沿った軟Ｘ線を照射可能な軟Ｘ線型イオナイザ１８と、を備える。【選択図】図１ |
