发明名称 Informationsverarbeitungsvorrichtung, Verfahren dafür und Messvorrichtung
摘要 Informationsverarbeitungsvorrichtung umfassend: eine Schätzeinrichtung (101), die konfiguriert ist, einen Ausdehnungsgrad eines auf eine Oberfläche eines zu messenden Objekts (140) projizierten geometrischen Merkmals (112) zu schätzen, wobei das geometrische Merkmal in einem, durch eine Projektionseinrichtung (110) auf die Oberfläche des zu messenden Objekts projizierten, geometrischen Muster (111) enthalten ist, und in einem Bild (121) beobachtet wird, welches durch eine Bildaufnahmeeinrichtung (120) erhalten wurde, die ein Bild des Objekts aufnimmt, auf das das geometrische Muster projiziert wird; eine Parametereinstelleinrichtung (102), die konfiguriert ist, einen Parameter basierend auf dem geschätzten Ausdehnungsgrad einzustellen; eine Punkteinstelleinrichtung (104), die konfiguriert ist, basierend auf dem Parameter, einen Punktstandort des geometrischen Musters in einem aufgenommenen Bild zu bestimmen, welches erhalten wurde durch Aufnehmen des Bilds des zu messenden Objekts, auf das das geometrische Muster projiziert wird; sowie eine Berechnungseinrichtung (105), die konfiguriert ist, eine dreidimensionale Position auf der Oberfläche des Objekts entsprechend zum bestimmten Punkt basierend auf einer Beziehung zwischen der Position des bestimmten Punkts auf dem aufgenommenen Bild und der Position des entsprechenden geometrischen Merkmals auf dem geometrischen Muster zu berechnen, gekennzeichnet dadurch, dass so konfiguriert, dass die Schätzeinrichtung die Schätzung des Ausdehnungsgrads einschließlich dem Einfluss einer Unschärfe, verursacht durch Defokussieren der Bildaufnahmeeinrichtung und/oder der Projektionseinrichtung bezüglich einer Oberfläche des Objekts, und/oder einer Bewegungsunschärfe, verursacht durch eine Änderung von relativer Position und Orientierung der Oberfläche des Objekts bezüglich der Bildaufnahmeeinrichtung und/oder der Projektionseinrichtung, durchführt; die Parametereinstelleinrichtung als den Parameter, basierend auf dem geschätzten Ausdehnungsgrad des geometrischen Merkmals, einen Detektionsfilter einstellt; und die Punkteinstelleinrichtung den Punkt auf dem geometrischen Muster durch Anwenden des Filters in eine vorbestimmte Richtung bezüglich des aufgenommenen Bilds bestimmt.
申请公布号 DE102015005267(B4) 申请公布日期 2017.03.16
申请号 DE20151005267 申请日期 2015.03.24
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 Furihata, Hisayoshi;Fujiki, Masakazu;Kobayashi, Kazuhiko;Suzuki, Masahiro
分类号 G01B11/25 主分类号 G01B11/25
代理机构 代理人
主权项
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