摘要 |
【課題】温度変化や電子部品の許容差でフィルタ特性が変化せず、変調信号の周波数の2倍周波数の信号を正確に検出できるレーザ式ガス分析装置。【解決手段】レーザ光を出力するレーザ光源10と、掃引信号に高周波の変調信号が重畳された電流をレーザ光源に流すことによりレーザ光源を駆動するレーザ駆動回路14と、レーザ光源のレーザ光をセルを介して受光する光検出部16と、光検出部からの出力から変調信号の基本周波数を除去するスイッチトキャパシタノッチフィルタ22と、スイッチトキャパシタノッチフィルタの出力を同期検波することにより変調信号の第2高調波信号を抽出する抽出部18と、抽出部で抽出された第2高調波信号を解析してガス濃度を測定する信号解析回路19を備える。【選択図】図1 |