静電容量型圧力センサ

摘要

温度変化の影響だけでなく、空気中の電磁波ノイズの影響が圧力の測定値に表れるのを防ぐことができる静電容量型圧力センサを提供するために、電極体が、前記電極面を有し、絶縁配置体に固定される測定電極と、前記ボディの他端側を封止する絶縁封止体によって固定される信号取り出し電極と、前記測定電極及び前記信号取り出し電極を電気的に接続する可撓性接続部材と、を具備し、前記測定電極又は前記信号取り出し電極に形成された収容凹部に前記可撓性接続部材が収容されるようにした。