研磨用シリカ添加剤及びそれを用いた方法

摘要

【課題】表面粗さ、スクラッチ性を悪化させること無く、研磨速度に優れた研磨を達成することが出来る研磨用シリカ添加剤、及びそれを含有してなる研磨スラリーを提供する。【解決手段】粒子密度が２．０ｇ／ｃｍ３以上、比表面積が２０ｍ２/ｇ以上１００ｍ２／ｇ以下、粒子径５０ｎｍ以上の粒子の平均球形度が０．８０以上であることを特徴とする研磨用シリカ添加剤。【選択図】なし