| 摘要 |
薄膜圧電アクチュエータの製造方法は、基板（２）の一方の面上に圧電素子（７）をパターニング形成する工程と、基板（２）の一方の面側に第１の分割溝（１１）をドライエッチングによってパターニング形成する工程と、基板（２）の一方の面上に、圧電素子（７）および第１の分割溝（１１）を覆って表面を平坦化する第１のレジスト（１２）を形成する工程と、第１のレジスト（１２）上にフィルム基材を貼り付ける工程と、基板（２）の他方の面上に第２のレジストを形成する工程と、第２のレジストをマスクとして、基板（２）を他方の面側からドライエッチングすることにより、振動板と、第１の分割溝（１１）とつながって貫通する第２の分割溝とを同時に形成する工程とを有している。 |
