スクリュー真空ポンプ

摘要

高速化されるとともに長期間メインテナンスフリーで運転可能なスクリュー真空ポンプを提供する。回転シャフト（１５０）と中空部（１１３Ａ）を画定する雄ロータ（１１０）の内壁面との間に、ステータ（１３０）に対して固定され、回転する回転シャフト（１５０）の流出口（１５４）を通じて中空部（１１３Ａ）に供給されたオイルを、中空部（１１３Ａ）内で複数の流通経路に分配して流すための複数のオイル流路（２０２、２０３）を画定する流路部材としてのサポート部材（２００）を配置した。