微粒子組成分析装置

摘要

【課題】測定対象となる気体試料に含まれる微粒子の組成と濃度を測定したいにも関わらず、分析装置の例えば微粒子を捕捉する捕捉体に吸着している気体試料外の物質の影響により、正確に測定できないという問題があった。【解決手段】微粒子組成分析装置は、気体試料に含まれる微粒子の組成を分析する微粒子組成分析装置であって、ガス分析器と、気体試料にレーザー光を照射して生成した微粒子に起因する試料ガスと、比較ガスとを順次ガス分析器に導入する制御部とを備える。【選択図】図１