| 摘要 |
【課題】インプリント領域にインプリント材を正確に供給するのに有利なインプリント装置を提供する。【解決手段】基板上のインプリント領域にインプリント材を供給する供給部と、インプリント領域に供給されたインプリント材に型を接触させるための駆動を行う駆動部と、気体の流れを形成してインプリント領域を封止する封止部と、を有するインプリント装置であって、供給部は、基板に対向する面を有する部材を含み、気体が流入する流入口と気体が流出する流出口とが面に形成され、流入口と流出口とを接続する流路が部材内に形成されている。【選択図】図１ |
