光増感化学増幅レジストで酸ショットノイズとして複製されるＥＵＶショットノイズの軽減

摘要

光増感化学増幅レジスト（ＰＳ−ＣＡＲ）の極紫外（ＥＵＶ）リソグラフィおよびパターニングにおいてショットノイズを軽減する方法が記載されている。本方法は、光増感剤を生成するための第１のＥＵＶパターン露光と、第１のＥＵＶパターン露光時に露光された領域で酸を生成するための、第１のＥＵＶパターン露光の波長と異なる波長での第２のフラッド露光と、を含み、光増感剤は、酸の生成を増幅し、且つ、コントラストを改善するように作用する。第１のＥＵＶパターン露光時に生じ得る光増感剤濃度に及ぼすＥＵＶショットノイズの影響を軽減するために、レジストを熱、液体溶媒、溶媒雰囲気、または真空に暴露し得る。