WIRBELBETTREAKTOR MIT UMGEKEHRTER ZIRKULATION ZUR HERSTELLUNG VON KÖRNIGEM POLYSILIZIUM

摘要

Ein umgekehrter Wirbelbettreaktor wird durch eine thermisch isolierende vertikale Teilungseinrichtung in eine Vorreaktions-Heizzone, eine Reaktionszone und eine Dehydrierzone unterteilt. Die Dehydrierzone kann sich unterscheiden oder die Heizzone kann als die Dehydrierzone dienen. Teilchen aus Polysilizium zirkulieren nach oben durch die Heizzone und in das obere Ende der Reaktionszone, wo eine Abscheidung von Silizium auftritt, und die aufgewachsenen Teilchen setzen sich langsam ab, bis sie erneut in das untere Ende der Vorreaktions-Heizzone eintreten. Staubbildung, Wandabscheidung und Wasserstoffgehalt in den Produktsiliziumteilchen werden dadurch minimiert.