发明名称 画像分類装置および画像分類方法
摘要 【課題】分類性能を向上した画像分類装置を提供する。【解決手段】検査・分類装置では、分類対象である欠陥に対して複数の属性項目が定められ、それぞれが教師画像と、当該教師画像に対する複数の属性項目についての教示情報とを含む複数の教師データセット81が準備される。続いて、複数の属性項目に関する分類をそれぞれ行う複数の分類器324が、全ての教師データセット81を用いた学により構築される。そして、対象画像の分類では、分類制御部322が、対象画像に対する複数の属性項目における分類結果を、複数の分類器324にそれぞれ取得させ、複数の分類器324による分類結果を統合した欠陥クラスが決定される。検査・分類装置では、十分な個数の教師データセット81を用いて各属性項目に特化した分類器324を構築することができ、その結果、分類性能を向上することができる。【選択図】図3
申请公布号 JP2017054239(A) 申请公布日期 2017.03.16
申请号 JP20150176630 申请日期 2015.09.08
申请人 株式会社SCREENホールディングス 发明人 松村 明
分类号 G06F17/30;G01B11/30;G01N21/88;G06T7/00;H01L21/66 主分类号 G06F17/30
代理机构 代理人
主权项
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