ＭＥＭＳデバイス、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、ＭＥＭＳデバイスの製造方法、及び液体噴射ヘッドの製造方法

摘要

【課題】記録ヘッドを構成する圧力発生室形成基板に機械的損傷が生じにくくし、記録ヘッドの製造歩留や品質を高めること。【解決手段】第１基板３３と、第１基板３３に積層配置され、第１基板３３側に圧電素子３２を有する第２基板２９と、を含み、第１基板３３と第２基板２９とは略同じ大きさであり、平面視で、第１基板３３の端３３ａと第２基板２９の端２９ａとは略同じ位置に配置されることを特徴とする。【選択図】図２