小型回転アームを有する処理室および小型製造装置

摘要

【課題】小口径の処理基板を用いる、小型で低コストの製造装置を提供する。【解決手段】小型回転アームを最も上部に有する搬送ロボットと、この搬送ロボットを取り巻いて小型回転アームの回転円弧上に位置する複数の基板処理装置とが、１つのボックス形状のハウジング内に設置されている。小型回転アームへ処理基板が受け渡され、小型回転アームが回転中心を中心として回転することにより、各基板処理装置との間で処理基板の受け渡しを行う。これにより、製造装置を小型化および低価格化することができる。