試料保持具

摘要

【課題】 セラミック体にクラックが入る可能性を低減する。【解決手段】 本発明の試料保持具１は、上面に試料保持面３０を有するセラミック体３と、セラミック体３の下面に接合された鍔部４１および鍔部４１の内周から下方に向かって内周面の間隔が次第に狭くなっている部分を含む筒部４２を有する金属部材４とを備えている。そして、狭くなっている部分の内周面とセラミック体３の下面との間に隙間４３がある。